1. Hieno mekaanisten osien käsittely
Kun hienojen osien koneistustarkkuus on nanometreinä ja lopuksi atomiyksiköissä (atomi ristikkoväli on 0,1~0,2 nanometriä), ultrahiutaisten osien leikkausmenetelmiä ei voida enää mukauttaa. On tarpeen luottaa erityisiin hienojen osien käsittelymenetelmiin, eli kemiallisen energian soveltamiseen. , sähkökemiallinen energia, lämpöenergia tai sähköenergia jne., saavat nämä energiat ylittämään atomien välisen sidosenergian, jotta työkappaleen pinnalla olevien paikallisten atomien välinen tarttuminen, sidos tai ristikon muodonmuutos voidaan poistaa erittäin hienon prosessoinnin tarkoituksen saavuttamiseksi. Tämäntyyppinen käsittely sisältää mekanokemiallisen kiillotuksen, ionin sputteroinnin ja ioni-implantaation, elektronisäteen altistumisen, lasersäteen käsittelyn, metallin haihtumisen ja molekyylisäteen epitaksian.
2. Hienojen mekaanisten osien leikkaaminen
Sisältää pääasiassa hienon sorvauksen, peilihionnan ja hionnan. Mikrokääntö suoritetaan hienolla sorvilla tarkkuusjauhetulla yksikiteisen timantin kääntötyökalulla. Leikkuupaksuus on vain noin 1 mikroni. Sitä käytetään usein ei-rautametallimateriaalien, kuten pallomaisten pintojen, asfäärisodan pintapeilien ja muiden erittäin tarkkojen osien käsittelyyn, joissa on kiiltävät pinnat. . Esimerkiksi ydinfuusiolaitteiston halkaisijaltaan 800 mm:n asfääripeilin suurin tarkkuus on 0,1 mikronia ja pinnan karheus 0,05 mikronia.
